Ureum analyzer voor continue en nauwkeurige ureum metingen in UPW
Ureum online procescontrole

UREA Analyzer

Ureum is een kritische verontreiniging in ultrapuur water (UPW) voor de productie van halfgeleiders omdat het bijdraagt aan de totale concentratie van organische koolstof (TOC) die foto lithografische processen nadelig kan beïnvloeden.

Ovivo biedt een innovatieve, online ureum analyser die continu en nauwkeurig ureum meet met maximaal vier bemonsteringskanalen.

Met de UREA Analyzer is het mogelijk om continu seizoensgebonden variaties in ureum te meten en te controleren en de UPW-behandelingsprocesstappen aan te passen om het ureum optimaal te verwijderen.

De analyser is te gebruiken voor UPW of DI-water. Andere toepassingen zijn afhankelijk van de watersamenstelling.

Ovivo heeft ervaring met efficiënte ureumbehandelingssystemen die de klant voor specifieke situaties naar behoefte kan aanpassen.

De Analyzer UREA heeft de volgende belangrijke eigenschappen.

  • Automatische monstername en analyse
  • Continu bedrijf (24/7)
  • Laag verbruik van chemicaliën
  • Breed scala aan ureumconcentraties
  • Monstername-opties
  • Automatische softwarebediening vanaf de eerste start, evenals automatische integratie en interpretatie
UREA Analyzer geïnstalleerd in een UPW installatie van een halfgeleiderfabrikant

Proces LC-OND Analyzer voor ureumbewaking

Het werkingsprincipe van de Ovivo UREA Analyzer is gebaseerd op chromatografische scheiding, in de vorm van LC-OND (Liquid Chromatography – Organic Nitrogen Detection).

Een speciaal ontwikkelde oxidatiereactor reinigt vooraf de mobiele fase (zoutbuffer). Een bepaalde hoeveelheid water wordt opgepikt door een loop  en geïnjecteerd in de continue stroom van de mobiele fase. Het monster stroomt vervolgens naar een pomp en een chromatografische kolom waar ureum wordt gescheiden van andere stikstofvormen, zoals nitraat en ammonium.

Schema die urea detectie in een monster laat zien

Na de chromatografische kolom stroomt de oplossing naar een kortegolf-UV-oxidatielampreactor die ureum en ammonium omzet in nitraat, terwijl het nitraat onaangetast blijft.

Nitraat wordt vervolgens selectief gedetecteerd door een kortegolf-UV-absorptiedetector (UVD).

Alle stikstofvormen elueren afhankelijk van hun specifieke retentietijd. De retentietijd identificeert de stof, en de pieken worden gebruikt voor kwantificering.

Detectiegrens 1,5 ppb ureum
Kwantificeringsbereik 3 ppb – 150 ppb in de vorm van ureum
Bemonsteringskanalen 4
Gemiddelde meettijd 60 min. per monster
Volume per monsterneming < 100 ml
Maximale druk monsterneming 10 bar
Spanning 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz
Energieverbruik 450 watt
Afmetingen 60 x 60 x 190 cm
Werking Automatisch, selecteerbare procedure of handmatige afzonderlijke metingen

Online analyse of monsteranalyse