尿素分析仪为超纯水提供连续和精确的尿素测量
尿素在线控制系统

UREA Analyzer

尿素是半导体生产制造所需的超纯水(UPW)中的主要污染物,因为它会影响总有机碳(TOC)浓度,并对光刻工艺产生不利影响。

Ovivo尿素分析仪,是一种全新的在线尿素分析仪。该仪器提供连续和准确的尿素测量和多达四个采样通道。

Ovivo的尿素分析仪可以进行连续监测,能够捕捉尿素的季节性变化,进而指导调整UPW处理步骤来最大限度地去除尿素。

适用于UPW或DI水,其他应用取决于水的成分。
Ovivo拥有高效尿素处理系统的经验,可根据客户的具体情况和需求进行设计。

尿素分析仪具有以下重要特点:

  • 自动取样和分析。
  • 连续(24/7)运行。
  • 化学品消耗量低。
  • 尿素测量浓度范围广。
  • 取样选项。
  • 初始启动后软件自动运行,自动集成和解读。
尿素分析仪在半导体超纯水处理系统中的应用

尿素监测分析仪采用LC-OND工艺

Ovivo尿素分析仪的工作原理是基于色谱分析,即LC-OND(液相色谱-有机氮检测)。

流动相(盐缓冲液)容器是预先清洗的,它是一个特殊设计的氧化反应器。定量的水样从取样环路中添加到持续流动的流动相中。然后样品被泵送入色谱柱,在那里区分尿素与其他含氮物质(如硝酸盐和铵)。

检测样品中uera色谱图

离开色谱柱后,溶液被送入短波紫外反应器,尿素被转化为硝酸盐。

硝酸盐可以被低波紫外吸收检测器(UVD)检测到。

所有物质根据其特定的停留时间来洗提。停留时间用于定性,而对应的峰面积用于定量。

检测极限: 1.5 ppb Urea
测量范围: 3 ppb…150 ppb as Urea
采样通道: 4
平均测量时间: 60 min/sample
每卷样品: < 100 mL
最大样品压力: 10 bar (145 psi)
电压: 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz
电力消耗: 450 Watt
维度: 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 in)
操作模式: 自动/可选顺序或手动单次测量

在线或取样分析