尿素在线控制系统
UREA Analyzer
尿素是半导体生产制造所需的超纯水(UPW)中的主要污染物，因为它会影响总有机碳(TOC)浓度，并对光刻工艺产生不利影响。
Ovivo尿素分析仪，是一种全新的在线尿素分析仪。该仪器提供连续和准确的尿素测量和多达四个采样通道。
联系专家Ovivo的尿素分析仪可以进行连续监测，能够捕捉尿素的季节性变化，进而指导调整UPW处理步骤来最大限度地去除尿素。
适用于UPW或DI水，其他应用取决于水的成分。
Ovivo拥有高效尿素处理系统的经验，可根据客户的具体情况和需求进行设计。
尿素分析仪具有以下重要特点：
- 自动取样和分析。
- 连续(24/7)运行。
- 化学品消耗量低。
- 尿素测量浓度范围广。
- 取样选项。
- 初始启动后软件自动运行，自动集成和解读。
尿素监测分析仪采用LC-OND工艺
Ovivo尿素分析仪的工作原理是基于色谱分析，即LC-OND(液相色谱-有机氮检测)。
流动相(盐缓冲液)容器是预先清洗的，它是一个特殊设计的氧化反应器。定量的水样从取样环路中添加到持续流动的流动相中。然后样品被泵送入色谱柱，在那里区分尿素与其他含氮物质（如硝酸盐和铵）。
离开色谱柱后，溶液被送入短波紫外反应器，尿素被转化为硝酸盐。
硝酸盐可以被低波紫外吸收检测器(UVD)检测到。
所有物质根据其特定的停留时间来洗提。停留时间用于定性，而对应的峰面积用于定量。
| 检测极限： | 1.5 ppb Urea |
| 测量范围: | 3 ppb…150 ppb as Urea |
| 采样通道： | 4 |
| 平均测量时间： | 60 min/sample |
| 每卷样品： | < 100 mL |
| 最大样品压力: | 10 bar (145 psi) |
| 电压: | 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz |
| 电力消耗: | 450 Watt |
| 维度： | 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 in) |
| 操作模式： | 自动/可选顺序或手动单次测量
在线或取样分析。 |
