UREA Analyzer
L’urée est un contaminant critique dans l’eau ultrapure (UPW) pour la fabrication de semi-conducteurs, car elle contribue à la concentration de carbone organique total (COT) et peut nuire aux processus de photolithographie.
L’analyseur UREA d’Ovivo, qui est le fruit d’une innovation récente, fournit des mesures continues et précises de l’urée grâce à quatre canaux d’échantillonnage.
Contacter un expertL’analyseur UREA d’Ovivo permet une surveillance continue permettant de détecter les variations saisonnières de l’urée et d’adapter les étapes du processus de traitement de l’eau ultrapure (UPW) afin de maximiser son élimination.
Cette application est destinée à l’eau UPW ou déionisée. Les autres applications dépendent de la composition de l’eau.
Ovivo a l’expérience de systèmes performants de traitement de l’urée qui peuvent être conçus pour des cas spécifiques ainsi que pour répondre aux besoins d’un client.
L’analyseur UREA possède les caractéristiques essentielles suivantes.
- Échantillonnage et analyse automatiques.
- Fonctionnement continu (24 h/24, 7 j/7).
- Faible consommation de produits chimiques.
- Large gamme de concentrations d’urée.
- Fonctionnement automatique du logiciel après le démarrage initial et intégration et interprétation automatiques.
- Options de logiciel de diagnostic.
Analyseur de processus LC-OND pour la surveillance de l’urée
Le principe de fonctionnement de l’analyseur UREA d’Ovivo est basé sur une séparation chromatographique, à savoir LC-OND (Chromatographie liquide – Détection d’azote organique).
La phase mobile (tampon de sel) est pré-nettoyée par un réacteur d’oxydation spécialement conçu. Un volume défini d’échantillon aqueux est prélevé par une boucle de contrôle et injecté dans le flux continu de la phase mobile. L’échantillon est ensuite acheminé vers une pompe et une colonne chromatographique où l’urée est séparée des autres espèces azotées, comme le nitrate et l’ammonium.
Après avoir quitté la colonne chromatographique, la solution est introduite dans un réacteur à lampe d’oxydation UV à ondes courtes où l’urée est transformée en nitrate.
Le nitrate est ensuite détecté sélectivement par un détecteur d’absorption d’UV à ondes courtes (UVD).
Chaque espèce azotée élue en fonction de son temps de rétention spécifique. Le temps de rétention est utilisé pour l’identification, tandis que les unités de surface de pic sont utilisées pour la quantification.
Spécification technique de l’analyseur UREA :
| Limite de détection | 1,5 ppb d’urée |
| Plage de quantification | Entre 3 ppb et150 ppb sous forme d’urée |
| Canaux d’échantillonnage | 4 |
| Temps de mesure moyen | 60 min/échantillon |
| Volume par échantillon | < 100 ml |
| Pression max. de l’échantillon | 10 bar (145 psi) |
| Tension | 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz |
| Consommation électrique | 450 watts |
| Dimensions | 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 po) |
| Mode de commande | Séquence automatique/sélectionnable ou mesures individuelles manuelles
Analyse d’échantillons en ligne ou ponctuels |
