Urea Analyzer für kontinuierliche und genaue Harnstoffmessungen in UPW
Online-Prozessanalyzer für Harnstoff

UREA Analyzer

Harnstoff, Kohlensäurediamid ist einer der kritischen Verunreinigungen in Reinstwasser für die Halbleiterherstellung. Harnstoff geht in die Analyse des gesamten organischen Kohlenstoffs (TOC) mit ein und kann die photolithographischen Prozesse beeinträchtigen.

Ovivo bietet ein Online-Harnstoff-Analysegerät an, der, kontinuierliche und genaue Harnstoffmessungen mit vier Probenahmekanälen.

Der UREA Analyzer von Ovivo ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung, die auch saisonale Harnstoffschwankungen erfassen kann.  Dadurch können die Prozessschritte der UPW- Aufbereitung angepasst werden, um die maximale Beseitigung von Harnstoff zu gewährleisten.

Die Anwendung ist für UPW oder DI-Wasser (deionisiertes Wasser) gedacht. Andere Anwendungen hängen von der Wasserzusammensetzung ab.

Ovivo verfügt über Erfahrungen mit effizienten Harnstoff-Behandlungsanlagen, die auf den spezifischen Anwendungsfall und Anforderungen von Kunden abgestimmt werden können.

Der UREA Analyzer weist die folgenden wichtigen Merkmale auf.

  • Automatische Probenahme und Analyse
  • Kontinuierlicher Betrieb (rund um die Uhr)
  • Geringer Verbrauch von Chemikalien
  • Breiter Harnstoffmessbereich
  • Stichprobenoption
  • Automatischer Softwarebetrieb nach dem ersten Start sowie automatische Integration und Interpretation
UREA-Analysator in der UPW-Aufbereitungsanlage eines Halbleiterherstellers

Prozess LC-OND-Analysator für die Überwachung von Harnstoff

Das Funktionsprinzip des UREA Analyzer von Ovivo basiert auf einer chromatographischen Trennung, und zwar der LC-OND (Liquid Chromatography – Organic Nitrogen Detection, Flüssigchromatographie – Detektion von organischem Stickstoff).

Die mobile Phase (Salzpuffer) wird durch einen eigens entwickelten Oxidationsreaktor vorgereinigt. Ein definiertes Volumen einer wässrigen Probe wird über eine Schleife aufgenommen und in den kontinuierlichen Strom der mobilen Phase injiziert. Anschließend wird die Probe einer Pumpe und einer Chromatographiesäule zugeführt, in der Harnstoff von anderen N-Spezies, wie Nitrat und Ammonium, getrennt wird.

Diagramm des Urea-Nachweises in der Probe

Nach Verlassen der Chromatographiesäule wird die Lösung in einen Reaktor mit kurzwelligen UV-Oxidationslampen geleitet, wo Harnstoff in Nitrat umgewandelt wird.

Das gebildete Nitrat wird dann selektiv mit einem kurzwelligen UV-Absorptionsdetektor (UVD) nachgewiesen.

Alle Spezies eluieren entsprechend ihrer spezifischen Retentionszeit. Die Retentionszeit wird zur Identifizierung verwendet, während die Peakflächeneinheiten zur Quantifizierung herangezogen werden.

UREA Analyzer Technische Spezifikation

Nachweisgrenze 1,5 ppb Harnstoff
Quantifizierungsbereich 3 ppb … 150 ppb als Harnstoff
Probenahmekanäle 4
Durchschnittliche Messzeit 60 min/Probe
Volumen pro Probe < 100 ml
Max. Probendruck 10 bar (145 psi)
Spannung 90 – 230 V / 10 A bei 50 – 60 Hz
Stromverbrauch 450 Watt
Abmessungen 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 Zoll)
Betriebsmodus Automatische/wählbare Sequenz oder manuelle Einzelmessungen

Online- oder Stichproben-Analyse.