Ovivo
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非金属超纯水抛光系统

Ultrapure Water Pumps

我们的新一代非金属、高纯度泵,应用于超纯水(UPW)的制备,是按照最严格的半导体标准设计和制造的,以满足当前和未来国际器件与系统线路图(IRDS)的要求。

我们的NPC和NP型UPW泵的非金属特性使得这些泵非常适合用于UPW系统和最先进的半导体制造设施的最后抛光部分。

Ovivo与一家非常专业的非金属泵制造商建立了独家合作伙伴关系,我们开发了独特的NP和NPC型号的泵,为您的UPW系统提供了最佳方案。我们的UPW泵有以下特点:

  • 优异材料(PVDF-HP, SiC, E-CTFE),达到最高纯度
  • 根据半导体级要求清洗所有接液部件
  • 在大流量和高扬程下高性能运行
  • 适用于冷、热纯水工艺,温度适用于-20至110℃(-4至230华氏度)
  • 安装和拆卸简单,使用寿命长,便于维护

高纯非属材料

所有的泵都需要定期维护,在恢复运行之前需要进行冲洗。然而,在冲洗过程中,标准泵经常会有颗粒泄露,这些必须通过高速冲洗来去除——这一过程本身就会导致颗粒污染。虽然颗粒不能完全去除,但通过将316L不锈钢叶轮替换为PVDF-HP叶轮,可以将标准泵中的导电颗粒从工艺过程中去除,这是Ovivo UPW泵的主要特点之一。这样残留的颗粒都是惰性的,这将最大限度地减少在泵维护期间可能导致的装置导电故障、可能的泄漏或泵故障。

我们的机械密封(固定和旋转密封圈),是专门为我们的非金属泵研发,由碳化硅(SiC)制成。此外,弹簧上也覆盖含氟聚合物。总之,这些具有优异的耐腐蚀和耐磨性的材料,最大限度的保证运行的可靠性和较长的使用寿命,同时易于组装、拆卸和维修。

Ovivo的UPW泵使用高质量和可靠的材料,能够从系统中去除金属和可氧化颗粒。

高效PVDF-HP叶轮(NPSH要求低,不受反向旋转影响)
耐真空PVDF-HP蜗壳外壳,壁厚大于10毫米(0.4英寸),具有极佳的磨损余量
铠装外壳由坚固的金属制成,以适应允许所有的系统压力和管道负载
旋转密封圈,外径大,有效抵消边缘压力,并固定在轴套上
旋转和固定密封环由Ekasic®C制造(高级SiC提供最大的耐磨性)
固定的静态O形圈有确定的预紧力
动态O形圈防止流体释放到大气中(最佳和可靠的位置)
Cr – Ni – Mo轴套与氟聚合物涂层(固定在轴上)
位于泵送流体路径之外的含氟聚合物涂层弹簧(E-CTFE)

Ovivo的UPW泵使用高质量和可靠的材料,能够从系统中去除金属和可氧化颗粒。

  1. 高效PVDF-HP叶轮(NPSH要求低,不受反向旋转影响)
  2. 耐真空PVDF-HP蜗壳外壳,壁厚大于10毫米(0.4英寸),具有极佳的磨损余量
  3. 铠装外壳由坚固的金属制成,以适应允许所有的系统压力和管道负载
  4. 旋转密封圈,外径大,有效抵消边缘压力,并固定在轴套上
  5. 旋转和固定密封环由Ekasic®C制造(高级SiC提供最大的耐磨性)
  6. 固定的静态O形圈有确定的预紧力
  7. 动态O形圈防止流体释放到大气中(最佳和可靠的位置)
  8. Cr – Ni – Mo轴套与氟聚合物涂层(固定在轴上)
  9. 位于泵送流体路径之外的含氟聚合物涂层弹簧(E-CTFE)

有关其他信息,请下载技术数据表。