非金属超纯水抛光系统
Ultrapure Water Pumps
我们的新一代非金属、高纯度泵，应用于超纯水(UPW)的制备，是按照最严格的半导体标准设计和制造的，以满足当前和未来国际器件与系统线路图(IRDS)的要求。
我们的NPC和NP型UPW泵的非金属特性使得这些泵非常适合用于UPW系统和最先进的半导体制造设施的最后抛光部分。
联系专家Ovivo与一家非常专业的非金属泵制造商建立了独家合作伙伴关系，我们开发了独特的NP和NPC型号的泵，为您的UPW系统提供了最佳方案。我们的UPW泵有以下特点:
- 优异材料(PVDF-HP, SiC, E-CTFE)，达到最高纯度
- 根据半导体级要求清洗所有接液部件
- 在大流量和高扬程下高性能运行
- 适用于冷、热纯水工艺，温度适用于-20至110℃(-4至230华氏度)
- 安装和拆卸简单，使用寿命长，便于维护
高纯非属材料
所有的泵都需要定期维护，在恢复运行之前需要进行冲洗。然而，在冲洗过程中，标准泵经常会有颗粒泄露，这些必须通过高速冲洗来去除——这一过程本身就会导致颗粒污染。虽然颗粒不能完全去除，但通过将316L不锈钢叶轮替换为PVDF-HP叶轮，可以将标准泵中的导电颗粒从工艺过程中去除，这是Ovivo UPW泵的主要特点之一。这样残留的颗粒都是惰性的，这将最大限度地减少在泵维护期间可能导致的装置导电故障、可能的泄漏或泵故障。
我们的机械密封(固定和旋转密封圈)，是专门为我们的非金属泵研发，由碳化硅(SiC)制成。此外，弹簧上也覆盖含氟聚合物。总之，这些具有优异的耐腐蚀和耐磨性的材料，最大限度的保证运行的可靠性和较长的使用寿命，同时易于组装、拆卸和维修。
Ovivo的UPW泵使用高质量和可靠的材料，能够从系统中去除金属和可氧化颗粒。
- 高效PVDF-HP叶轮(NPSH要求低，不受反向旋转影响)
- 耐真空PVDF-HP蜗壳外壳，壁厚大于10毫米(0.4英寸)，具有极佳的磨损余量
- 铠装外壳由坚固的金属制成，以适应允许所有的系统压力和管道负载
- 旋转密封圈，外径大，有效抵消边缘压力，并固定在轴套上
- 旋转和固定密封环由Ekasic®C制造(高级SiC提供最大的耐磨性)
- 固定的静态O形圈有确定的预紧力
- 动态O形圈防止流体释放到大气中(最佳和可靠的位置)
- Cr – Ni – Mo轴套与氟聚合物涂层(固定在轴上)
- 位于泵送流体路径之外的含氟聚合物涂层弹簧(E-CTFE)
有关其他信息，请下载技术数据表。
