Metallfreie Lösungen für das Polishing von Reinstwasser

Reinstwasser-Pumpen

Unsere neue Generation von nichtmetallischen, hochreinen Pumpen für Reinstwasser (UPW, Ultrapure Water)-Anwendungen wurde in Übereinstimmung mit den strengsten Halbleiter-Standards entwickelt und gefertigt, um die derzeitigen und zukünftigen Anforderungen der International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) zu erfüllen.

Aufgrund der nichtmetallischen Beschaffenheit unserer UPW-Pumpen, Modell NPC und NP, eignen sich diese Systeme ideal für den Einsatz in den End-Polishing-Abschnitten von UPW-Anlagen und hochmodernen Halbleiter-Fertigungseinrichtungen.

Dank unserer exklusiven Partnerschaft mit einem hochspezialisierten Hersteller von nichtmetallischen Pumpen konnten wir die einzigartigen Pumpenmodelle NP und NPC entwickeln, welche die optimale Lösung für Ihre Anlage zur Erzeugung von UPW repräsentieren. Unsere UPW-Pumpen zeichnen sich durch die folgenden Merkmale aus:

  • Hochwertige Materialien (PVDF-HP, SiC, E-CTFE) für maximale Reinheit.
  • Alle medienberührten Teile werden gemäß den für die Qualität von Halbleitern geltenden Anforderungen gereinigt.
  • Spitzenleistungen mit großem Durchfluss- und Druckbereich.
  • Ausgelegt für Kalt- und Heißverfahren und für einen großen Temperaturbereich von -20 °C bis 110 °C (-4 °F bis 230 °F) geeignet.
  • Erhöhte Lebensdauer und Wartungsfreundlichkeit durch einfache Montage und Demontage.

Hochreine metallfreie Materialien

Alle Pumpen müssen regelmäßig gewartet und anschließend gespült werden, bevor sie wieder in Betrieb genommen werden. Beim Spülen von Standardpumpen werden jedoch häufig Partikel abgegeben, die mit hohen Fließgeschwindigkeiten heraus gespült werden müssen – ein Prozess, der zur Verunreinigung des Verteilersystems mit Partikeln führen kann. Obwohl sich Partikel nicht vollständig vermeiden lassen, so können doch leitfähige Partikel durch Standardpumpen aus dem Prozessstrom vermieden werden. Dies erfolgt durch den Ersatz von Laufrädern aus Edelstahl 316L durch Laufräder aus PVDF-HP, was eines der Hauptmerkmale der UPW-Pumpen von Ovivo ist. Eventuell vorhandene Partikel sind daher inert, was den Ausfall von leitfähigen Geräten, der durch eine Pumpenwartung, z.B. bei Lecks oder einem Ausfall der Pumpe auftreten kann, minimiert.

Unsere speziell für unsere nichtmetallischen Pumpen entwickelten Gleitringdichtungen (statische und rotierende Dichtungsringe) bestehen aus Siliziumkarbid (SiC). Darüber hinaus ist die Feder mit einem Fluorpolymer beschichtet. Zusammen sorgen sie für eine hervorragende Korrosions- und Verschleißbeständigkeit, maximale Betriebssicherheit und lange Lebensdauer sind gewährleistet.

 

Die UPW-Pumpen von Ovivo werden verwendet wenn
durch den Einsatz von hochwertigen und zuverlässigen Materialien metallische und oxidierbare Partikel nicht in das System gelangen sollen.

  1. Hocheffizientes PVDF-HP-Laufrad (niedrige NPSH-Anforderungen und keine Beeinträchtigung durch Rückwärtsdrehung).
  2. Vakuumfestes PVDF-HP-Spiralgehäuse mit Wandstärken von mehr als 10 mm (0,4 Zoll) für hervorragende Verschleißfestigkeit.
  3. Gepanzertes Gehäuse aus robustem Metall zur Aufnahme aller zulässigen Systemdrücke und Rohrleitungslasten.
  4. Rotierender Dichtring mit größerem Außendurchmesser, um dem Kantendruck effektiv entgegenzuwirken. Der rotierende Dichtring ist formschlüssig mit der Wellenhülse verbunden.
  5. Rotierende und stationäre Dichtringe aus Ekasic® C (fortschrittliches SiC für maximale Abriebfestigkeit).
  6. Sitz der statischen O-Ringe mit definierter Vorspannung.
  7. Dynamischer O-Ring verhindert Fluidaustritte in die Atmosphäre (optimal und zuverlässig positioniert).
  8. Wellenhülse aus Cr-Ni-Mo mit Fluorpolymer-Beschichtung (formschlüssig mit der Welle verbunden).
  9. Fluorpolymerbeschichtete Feder (E-CTFE), die sich außerhalb des Fördermediums befindet.

Für weitere Informationen können Sie die technischen Datenblätter herunterladen.