Ovivo
Ovivo
Eau ultrapure

Metal-free UPW polishing solutions

La réponse sans compromis aux attentes des opérateurs d’usines de semi-conducteurs en matière de systèmes de polissage d’eau UPW.

Les configurations de circuits intégrés d’aujourd’hui sont si complexes que le moindre contaminant a une incidence sur le produit final. L’objectif d’Ovivo a toujours été d’éliminer toutes les sources de contamination potentielles.

Grâce à l’intégration de matériaux de haute pureté tels que les granulés spéciaux PVDF-HP ou Halar® E-CTFE, les systèmes de polissage d’eau UPW sans métal d’Ovivo peuvent permettre d’obtenir un carbone organique total (COT) inférieur à 1 ppb et une concentration de peroxyde d’hydrogène (H₂O₂) inférieure à 10 ppb.

Ovivo inclut une procédure de nettoyage de qualité semi-conducteur pour toutes les pièces mouillées. De plus, notre solution permet de contrôler entièrement la chaîne d’approvisionnement afin d’assurer une grande fiabilité et une longue durée de vie du produit.

En complément de nos systèmes de polissage sans métal, nous avons élaboré les produits suivants :

  • U-PUR. Le réacteur sans métal le plus compact pour la production d’eau ultrapure (oxydation UV/catalyseur/lit mélangé de polissage).
  • Pompes UPW. La nouvelle génération de pompes non métalliques conçues et fabriquées spécialement pour les applications en eau ultrapure.
  • Boîtiers de filtre à cartouche CFHA. Les boîtiers de filtre à cartouche sans métal par excellence pour le polissage d’eau ultrapure.

Ces produits réduisent au maximum la surface mouillée de l’acier inoxydable (SS) dans le système de polissage d’eau ultrapure.

Alors que les systèmes de polissage traditionnels comprennent un important matériel en acier inoxydable électropoli, nos pompes UPW ainsi que l’U-PUR, composé d’une cuve d’échange d’ions revêtue de fluoropolymère intégrant un traitement UV, élimine la majeure partie des surfaces métalliques mouillées.

Les pompes sans métal ne sont pas nouvelles sur le marché de l’eau UPW. Ce qui est nouveau, ce sont les débits élevés atteints par les pompes UPW d’Ovivo. Ces pompes sans métal de haute pureté ont été conçues afin de garantir que toutes les surfaces mouillées soient en PVDF de haute pureté. En remplaçant les turbines en acier inoxydable 316L par des turbines en PVDF de haute pureté, les particules conductrices sont éliminées du circuit de traitment lors des interruptions de service, de l’entretien de la pompe ou du rinçage des joints.

Le réacteur innovant sans métal U-PUR est capable d’éliminer les traces de COT et de H₂O₂, ce qui produit une eau beaucoup plus pure que les systèmes traditionnels. Grâce à sa conception, c’est une solution facile à entretenir, éliminant la tuyauterie et réduisant ainsi le risque de contamination par exposition au métal. Le produit U-PUR combine les réacteurs UV avec le lit mélangé afin d’éliminer la surface mouillée de l’acier inoxydable. Cela représente une avancée majeure dans la production d’eau ultrapure et permet au système de fournir une qualité d’eau nettement supérieure.

Les modèles CFEHA (boîtier de filtre à cartouche selon la norme européenne avec revêtement Halar intérieur) et CFAHA (boîtier de filtre à cartouche selon l’ASME avec revêtement Halar intérieur) sont le choix ultime pour répondre aux besoins spécifiques des applications UPW. Les deux modèles sont décapés et passivés à l’intérieur et à l’extérieur avant l’application du revêtement Halar. Ces boîtiers de filtre à la pointe de la technologie comprennent de l’acier inoxydable 316L de haute performance et toutes les surfaces mouillées sont revêtues de fluoropolymère. Cela garantit que l’eau UPW n’entre jamais en contact avec du métal exposé, condition essentielle pour la fabrication nanotechnologique.

Pour obtenir des informations supplémentaires, veuillez consulter les pages des produits individuels sur ce site Web et/ou télécharger les brochures/fiches techniques des produits.